冷水機chiller-杭州大和熱磁

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磁流體真空密封傳動裝置 OEM非標裝配服務電子束蒸發器金屬加工噴淋頭

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冷水機chiller系列

冷水機chiller

特殊液體冷水機系列（熱交換器）

本產品是為晶圓清洗、刻蝕、等化學品保溫開發的專用溫控器，產品由電控單元與換熱單元兩部分組成，通過對采集到的熱交換器內部的化學品循環液溫度與設定溫度的差異變化，進行 PID 控制運算，實現對化學品循環液溫度的控制。
本產品適用化學液體（參考）：10~60℃堿性溶液（5%以下氨水，20%以下過氧化氫、50%以下氫氧化鈉） 10~40℃酸性溶液（10%以下 HF，96%以下濃硫酸，5%以下鹽酸、5%以下硝酸等）使用混合液時需要提供混合比例，試驗確認可行性。
與化學品接觸材質符合 SIMI F57 要求。

半導體式冷水機系列

本款產品主要基于本司制冷片產品，利用帕爾貼效應進行升降溫控制，區別于傳統壓縮機制冷方式，該型水冷設備噪音小，無需添加冷媒，穩定控制狀態節能環保，具備定時運轉，低液位報警、停電復歸、水泵防凍、遠程控制、數據可顯可導等多種控制功能。

FCP30021A

FCP30021A

本設備性能優異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫濕度控制良好的環境，具有定時運轉、溫度補償、實現自我診斷等功能，且可實現過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

FCP60022A

FCP60022A

本設備性能優異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫濕度控制良好的環境，具有定時運轉、溫度補償、實現自我診斷等功能，且可實現過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

FCP30023W

FCP30023W

本設備性能優異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫濕度控制良好的環境，具有定時運轉、溫度補償、實現自我診斷等功能，且可實現過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

FCP60024W

FCP60024W

本設備性能優異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫濕度控制良好的環境，具有定時運轉、溫度補償、實現自我診斷等功能，且可實現過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

FCP60024L30W

FCP60024L30W

本設備性能優異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫濕度控制良好的環境，具有定時運轉、溫度補償、實現自我診斷等功能，且可實現過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

FCP90026W

FCP90026W

本設備性能優異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據需求定制，控制精度可達0.05℃，適用于溫濕度控制良好的環境，具有定時運轉、溫度補償、實現自我診斷等功能，且可實現過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實現RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。廣泛應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

壓縮機式冷水機系列

本設備為壓縮機式冷水機，采用知名品牌壓縮機，性能穩定且優異，出水口控溫精度可達0.1℃，可選配組件實現多路輸出，帶多路負載，適用于溫濕度控制良好的環境，節能環保，操作簡單，具有定時運轉、溫度補償、實現自我診斷等功能，且可實現過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實現I/O、RS232、RS485等多種不同通訊方式控制。

FCCA0152204

FCCA0152204

本設備為壓縮機式冷水機，采用知名品牌壓縮機，性能穩定且優異，出水口控溫精度可達0.1℃，可選配組件實現多路輸出，帶多路負載，適用于溫濕度控制良好的環境，節能環保，操作簡單，具有定時運轉、溫度補償、實現自我診斷等功能，且可實現過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實現I/O、RS232、RS485等多種不同通訊方式控制。

FCCA0242202

FCCA0242202

本設備為壓縮機式冷水機，采用知名品牌壓縮機，性能穩定且優異，出水口控溫精度可達0.1℃，可選配組件實現多路輸出，帶多路負載，適用于溫濕度控制良好的環境，節能環保，

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體積小巧

精確控溫

智能報警

遠程控制

chiller系列產品優點

半導體制冷片（TEC），是由許多微小而有效的熱泵組成的半導體器件。通過施加一個低壓直流電，熱量將從TEC的一面轉移到另一面，從而產生TEC一面變冷另一面變熱的現象，使用多對半導體原件串聯形成制冷器單元，實現吸熱，溫度下降的現象，以其快速響應和冷熱面轉換來實現高精度的溫度控制。

應用場景

蝕刻裝置清洗機顯影機
激光焊接機激光器激光打標機金屬3D打印
弧焊實驗測試機工業加工中心
包裝機印刷機醫療設備

蝕刻裝置清洗機顯影機

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蝕刻裝置清洗機顯影機

激光焊接機激光器激光打標機金屬3D打印

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Matrix diagram of applications in various fields

各領域的應用之矩陣圖

電動汽車/高鐵

半導體相關

冷水機chiller系列

該產品的生產基地

杭州大和熱磁電子有限公司

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