多軸密封傳動裝置主要為機械手而設計,這類產品廣泛應用于半導體的加工和生產,同時我們也有10-8Torr的超高真空用密封裝置。
Ferrotec提供的FerroDrive集成電機磁流體真空傳動裝置將一個密封Ferrofluidic真空磁流體、一個高精度電機以及控制器集成起來,為客戶提供一件緊湊且高性能的密封旋轉系統。這種設計根除了客戶在聯接分立部件時遭遇到的整合挑戰以及潛在的機械故障點。同軸驅動磁流體裝置經典應用領域包括:MOCVD、薄膜產業、光學鍍膜、離子束沉積、離子束刻蝕、物理氣相沉積、離子濺射、離子注入以及任何需要應用電機的場合,特別是需要伺服電機的場合。
空心軸密封傳動裝置有一個卡箍,它通過0型圈密封把用戶軸和密封裝置的轉軸連在一起。運用的典型例子就是濺射設備,其中例如電子、中性子或離子的注入用旋轉單元、旋轉物架以及X射線和光學機器??招妮S密封傳動裝置有通孔型、法蘭型等,也可以按照用戶的要求進行特殊設計或不帶卡箍。
我們有多重實心軸傳動裝置,例如:微型、通孔型、法蘭型、重負載型,適用于各種場合。除小徑的轉軸外,轉軸的動力裝配部和用戶安裝部的形狀有標準的鍵槽以外,還能根據用戶的要求,設計、制造多重配合形式,如扁平面、螺紋連接、孔連接等。我們的標準公制密封傳動裝置也有適用于高溫、重負載、高速場合時的水冷形式(除一些微型、通孔型磁性流體密封裝置以外)